Целта на металното разпръскване се използва главно в електрониката и информационната индустрия

- Jun 22, 2017-

Целта на металното разпръскване се използва основно в електрониката и информационната индустрия, като интегрални схеми, съхранение на информация, дисплей с течни кристали, лазерна памет, електронни устройства за управление и т.н. Може да се използва и в областта на стъкленото покритие; Могат да се използват и в устойчиви на износване материали, корозия, висококачествени декоративни материали и други индустрии.

Разпръскване на целевата класификация

Според формата може да бъде разделена на дълга цел, квадратна цел, кръгла цел, оформена цел

Съгласно състава може да се раздели на метална цел, цел на сплав, керамично съединение цел

Съгласно приложението на различен е разделен на полупроводникови керамични цел, средно керамични цел цел, дисплей керамични цел, свръхпроводящи керамични цел и гигантски магниторезистентни керамични цел

Съгласно полето на приложение, то е разделено на микроелектронна цел, магнитно записващо прицелване, цел на оптичен диск, целеви метален целеви целеви целеви метал, целеви резистентност към тънък слой, проводящо фолио, повърхностно модифицирана цел, маска, декоративен слой, , Цел на пакета, друга цел

Магнитронен принцип на разпрашване: в целевата повърхност (катод) и анода между ортогонално магнитно поле и електрическо поле във високо вакуумната камера, напълнена с необходимия инертен газ (обикновено Ar газ), постоянен магнит в целта. Материал за формиране на магнитно поле от 250 ~ 350 Gauss, с високо напрежение електрическо поле, съставено от ортогонално електромагнитно поле. Под действието на електрическото поле, азотната йонизация на азот в позитивни йони и електрони, метални разпрашвания, насочени към целта, се прибавят с известно отрицателно налягане, електроните, излъчвани от целта, се влияят от магнитното поле и вероятността от йонизация на работния газ Нараства, образувайки плазма с висока плътност близо до катодното тяло, аргиони в ролята на силата на Лоренц, за да ускорят полета до целевата повърхност при висока степен на бомбардиране на целевата повърхност, така че разпрашването на целевите атоми да следва Принцип на преобразуване на инерция с висока кинетична енергия от целевата муха Подложката се депозира и депозира. Магнитоновото разпрашване обикновено се разделя на два вида: приток на разпръскване и RF разпрашване, чието приплъзващо се устройство е принципно проста, при разпръскването на метал, скоростта му също е бърза. Използването на RF разпръскване е по-широко, метални разпрашаване целеви в допълнение към разпрашване проводящ материал, но също и разпрашване на непроводими материали, а отдела за реактивно разпрашаване подготовка на оксиди, нитриди и карбиди и други съединения. Ако честотата на радиочестотния спектър се увеличи, след като се превърне в микровълнова плазма, се използва често използван електронен циклотронен резонанс (ECR) тип микровълнова плазма.