Как да се преодолее ниската степен на използване на магнетрон Sputtering цел

- Jul 18, 2017-

Как да преодолеем ниската степен на оползотворяване на целта за магнетронно разпрашаване

Ротационната цел е широко използвана в соларни клетки, архитектурно стъкло, автомобилно стъкло, полупроводници, телевизори с плосък екран и други индустрии.

Цилиндричната въртяща се мишена има висока якост на магнитното поле, висока ефективност на разпръскване на целта, висока скорост на отлагане на филма, целене на разпрашване и равномерен филмов слой, които могат да бъдат нанесени върху голям повърхностен плосък субстрат от двете страни на целта. В същото време чрез ротационен механизъм за подобряване на използването на целта. Целевото охлаждане е достатъчно, целевата повърхност може да издържи на по-висока мощност от разпрашване. Комбинирането му с междинна честотна технология с двойна целева магнетронна пулверизация може значително да подобри ефективността на производството, като същевременно намали производствените разходи.

Магнетронът има много предимства, но също така и наличието на ниска степен на отлагане и целево повърхностно оформяне на неравномерно, ниско оползотворяване на целевите дефекти. Като например използването на целеви целеви обекти е обикновено само около 20% до 30%, целта на разпрашването е, че ефективността на разпрашването е относително ниска. За някои благородни метали като злато, сребро, платина и някои цели с висока чистота на сплавта, като например подготовката на ITO филм, електромагнитно фолио, свръхпроводящо фолио, диелектричен филм и други слоеве от целеви метали, как да се преодолее магнетронното разпрашване Целевото оползотворяване е ниско, отлагането на тънък слой не е еднородно и други недостатъци са много важни.

Правоъгълен планарен магнетронен разпрашващ целеви целеви гравиран хетерогенност се отразява главно в два аспекта, от една страна е ширината на целевата ширина на неравномерното офорт, от друга страна, разпрашването е насочено към традиционния дизайн на правоъгълния плосък разпрашващ целеви разпръскващ жлеб Пистата е затворена и аномалното ецване е склонно да се появи в диагоналното положение на целевия край, а оформянето на връзката между целевия край и правата е ненормално, а ецването в средата е плитко, а оформянето на тежките части Са винаги диагонални, така че феноменът е известен също като крайния ефект или диагоналния ефект. Ефектът на крайното офорт на целта значително намалява уеднаквяването на дълбочината на канала, а цилиндричната ротационна цел може да реши тези проблеми много добре и по този начин има по-висока степен на оползотворяване.