Ванадиево разпръскване цел, висока чистота, монолитна, въртяща се, въртяща, цилиндрична, планарна, катодна дъга, PVD покритие, тънък филм отлагане, Magnetron V Sputtering цели

Haohai е специализирана в производството на висококачествени ванадиеви разпръскващи цели с възможно най-висока плътност и възможно най-малък среден размер на зърното за използване при полупроводникови, физични изпарения (PVD) дисплей и оптични приложения. Целите ни за ванадиево разпръскване за тънък слой са налични моноблокови ротационни, равнинни мишени или свързани с равнинни мишени с различни форми и размери.

Чат сега

Информация за продукта


ЦЕЛИ НА ВАНАДИМА


Ванадият е мек и сгъстен сребристосив метал. Има добра устойчивост на корозия от алкали, сярна и солна киселина. Окислява лесно при около 933 К (660 ° С). Ванадийът има добра структурна здравина и напречно сечение с ниско делене, което го прави полезно за ядрени приложения. Макар и метал, той споделя с хром и манган свойството да има валентни оксиди с киселинни свойства.

 

Haohai е специализирана в производството на висококачествени ванадиеви разпръскващи цели с възможно най-висока плътност и възможно най-малък среден размер на зърното за използване при полупроводникови, физични изпарения (PVD) дисплей и оптични приложения. Целите ни за ванадиево разпръскване за тънък слой са налични моноблокови ротационни, равнинни мишени или свързани с равнинни мишени с различни форми и размери.

 

Хаохай ванадиевите разпрашващи цели включват ванадиеви монолитни въртящи се разпрашващи мишени, ванадиални планарни разпръскващи цели и ванадиеви катодни цели.




Ванадиево ротационно (въртящо се, цилиндрично) устройство за разпръскване


Производствена гама

OD (мм)

ID (мм)

Дължина (мм)

Направен по поръчка

50 - 300

30-280

100-4000


спецификация

композиция

V

чистота

2N5 (99.5%), 2N7 (99.7%), 3N (99.9%), 3N5 (99.95%), 4N (99.99%)

плътност

6,11 g / cm3

Размери на зърното

<80 микрона="" или="" при="">

Производствени процеси

Вакуумно топене, коване, екструдиране, обработка, лепене

форма

Прав, Кучешка кост

Типове край

SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, Beakert, GPI свършва фиксиране, спирален канал,

Направен по поръчка

повърхност

Ra 1,6 микрона


Други спецификации

Парите се обезмасляват и демагнетизират след окончателната обработка

ID, който трябва да бъде HONED и OD GROUND, след като се произведе сурова тръба, за да се гарантира, че концентрацията между ID и OD отговаря на изискванията за рисуване.

Висока вакуумна здравина, пропускливост на всяко място да не надвишава 1 x 10 -8 STD CC / SEC.

Запечатани в пластмаса, обвити в пяна, за да се защитят, и се затварят, за да се защитят уплътнителните повърхности


Нормални размери

Ванадий Ротари

Sputtering Target

Нормални размери

80 мм ID x 100 мм OD x Дължина

125 мм ID x 153 мм OD х 895 мм дълъг

125 мм ID x 153 мм OD x 1172 мм Дължина

125 мм ID x 153 мм OD x 1290 мм Дължина

125 мм ID х 153 мм OD x 1676 мм дълъг

125 мм ID x 153 мм OD x 1940 мм Дължина

125 мм ID х 153 мм OD x 2420 мм дълъг

125 мм ID x 153 мм OD x 3191 мм дълъг

125 мм ID x 153 мм OD x 3852 мм Дължина


В сравнение с титанови планарни конфигурации, типовете цилиндрични разпръскващи устройства на Haohai предлагат:

По-големи ерозионни зони, които осигуряват 2 до 2,5 пъти по-голямото използване на материала.

По-дълъг живот на целта, който намалява честотата на престой при смяна и поддръжка на камерата.

Производство по поръчка в монолитни, сегментирани или термични формати на спрей.

Крайни функции, които са прецизно обработени за проектиране на индивидуални катодни системи.

Намалете разходите за собственост при операции с големи покрития.

Разнообразие от материали, включително.

Оптималният размер на зърната и еднаква микроструктура осигуряват постоянна производителност на процеса до края на живота му.

Пълната хомогенност и нивата на висока чистота водят до последователно покритие.

Възможност за доставка на материали от всякакъв размер, от научноизследователска и развойна дейност до мащабно производство.




Планарна ванадийна (правоъгълна, кръгова) цел за разпръскване


Производствена гама

правоъгълник

Дължина (мм)

Ширина (мм)

Дебелина (мм)

Направен по поръчка

10 - 2000 г.

10 - 600

1,0 - 25

кръгъл

Диаметър (мм)


Дебелина (мм)

10 - 400


1,0 - 25

 

спецификация

композиция

V

чистота

2N5 (99.5%), 3N (99.9%), 3.5N (99.95%), 4N (99.99%),

плътност

6,11 g / cm3

Размери на зърното

<80 микрона="" или="" при="">

Производствени процеси

Вакуумно топене, коване, валцуване, обработка

форма

Плоча, диск, стъпка, надолу болтове, Threading, по поръчка

Тип

Монолитна, многосегментна цел, обвързване

повърхност

Ra 1,6 микрона или при поискване

 

Други спецификации

  Ние се грижим за една и съща посока на зърното в многосегментираните конструктивни части.

  Равномерност, чиста повърхност, полирана, без пукнатини, масло, точка и т.н.




Ватадиални дъгови кадоди

Предлагаме ванадийни ротационни и равнинни дъгови катоди, както и ванадиални ротационни и планарни разпръскващи мишени




За нашите цели ватадий Sputtering Target и Arc Catodes


толерантност

Ace. На чертежи или искане.


Съдържание на примеси [ppm]

Ванадиева чистота [%]

елементи

2N5

[99.5]

3N5

[99.95]

Металически примеси [μg / g]

Al

350

50

Ca

200

50

Cr

100

50

Cu

50

50

Fe

800

200

Мо

500

130

NI

300

50

си

800

150

Sn

100

30

Ti

250

150

Неметални примеси [μg / g]

° С

150

50

О

400

200

Н

30

20

N

200

50

Гарантирана плътност [g / cm 3 ]

6.11

6.11

Размер на зърната [μm]

80

80

Термопроводимост [W / (mK)]

30.7

30.7

Коефициент на топлинно разширение [1 / K]

8.4-6

8.4-6


Аналитични методи:

1. Металните елементи се анализират като се използва GDMS (Прецизността и пристрастията, типични за измерванията на GDMS, се обсъждат съгласно ASTM F1593).

2. Газовите елементи се анализират с помощта на LECO GAS ANALYZER.

C, S, определено от Combustion-IR

N, H, определено от IGF-TC

О, определено от IGF-NDIR


Приложение

Покритие от големи стъклени повърхности

Електротехническата промишленост

Носете устойчиво покритие

Декоративно покритие



Един чифт:Цирконий разпрашване цели, планарни със стъпка Следваща:Алуминиеви разпрашване целеви, с висока чистота, монолитни, тръбна, роторни, планарни, стъпка, катодна ДЪГА, PVD покритие, тънък филм отлагане, Ал магнетронно разпрашване цели производител и доставчик

Запитване