English
ЦЕЛИ НА ВАНАДИМА
Ванадият е мек и сгъстен сребристосив метал. Има добра устойчивост на корозия от алкали, сярна и солна киселина. Окислява лесно при около 933 К (660 ° С). Ванадийът има добра структурна здравина и напречно сечение с ниско делене, което го прави полезно за ядрени приложения. Макар и метал, той споделя с хром и манган свойството да има валентни оксиди с киселинни свойства.
Haohai е специализирана в производството на висококачествени ванадиеви разпръскващи цели с възможно най-висока плътност и възможно най-малък среден размер на зърното за използване при полупроводникови, физични изпарения (PVD) дисплей и оптични приложения. Целите ни за ванадиево разпръскване за тънък слой са налични моноблокови ротационни, равнинни мишени или свързани с равнинни мишени с различни форми и размери.
Хаохай ванадиевите разпрашващи цели включват ванадиеви монолитни въртящи се разпрашващи мишени, ванадиални планарни разпръскващи цели и ванадиеви катодни цели.
Ванадиево ротационно (въртящо се, цилиндрично) устройство за разпръскване
Производствена гама
OD (мм) | ID (мм) | Дължина (мм) | Направен по поръчка |
50 - 300 | 30-280 | 100-4000 |
спецификация
композиция | V |
чистота | 2N5 (99.5%), 2N7 (99.7%), 3N (99.9%), 3N5 (99.95%), 4N (99.99%) |
плътност | 6,11 g / cm3 |
Размери на зърното | <80 микрона="" или="" при=""> |
Производствени процеси | Вакуумно топене, коване, екструдиране, обработка, лепене |
форма | Прав, Кучешка кост |
Типове край | SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, Beakert, GPI свършва фиксиране, спирален канал, Направен по поръчка |
повърхност | Ra 1,6 микрона |
Други спецификации
♦ Парите се обезмасляват и демагнетизират след окончателната обработка
✦ ID, който трябва да бъде HONED и OD GROUND, след като се произведе сурова тръба, за да се гарантира, че концентрацията между ID и OD отговаря на изискванията за рисуване.
✦ Висока вакуумна здравина, пропускливост на всяко място да не надвишава 1 x 10 -8 STD CC / SEC.
♦ Запечатани в пластмаса, обвити в пяна, за да се защитят, и се затварят, за да се защитят уплътнителните повърхности
Нормални размери
Ванадий Ротари Sputtering Target | Нормални размери |
80 мм ID x 100 мм OD x Дължина 125 мм ID x 153 мм OD х 895 мм дълъг 125 мм ID x 153 мм OD x 1172 мм Дължина 125 мм ID x 153 мм OD x 1290 мм Дължина 125 мм ID х 153 мм OD x 1676 мм дълъг 125 мм ID x 153 мм OD x 1940 мм Дължина 125 мм ID х 153 мм OD x 2420 мм дълъг 125 мм ID x 153 мм OD x 3191 мм дълъг 125 мм ID x 153 мм OD x 3852 мм Дължина |
В сравнение с титанови планарни конфигурации, типовете цилиндрични разпръскващи устройства на Haohai предлагат:
✦ По-големи ерозионни зони, които осигуряват 2 до 2,5 пъти по-голямото използване на материала.
✦ По-дълъг живот на целта, който намалява честотата на престой при смяна и поддръжка на камерата.
◆ Производство по поръчка в монолитни, сегментирани или термични формати на спрей.
✦ Крайни функции, които са прецизно обработени за проектиране на индивидуални катодни системи.
◆ Намалете разходите за собственост при операции с големи покрития.
✦ Разнообразие от материали, включително.
✦ Оптималният размер на зърната и еднаква микроструктура осигуряват постоянна производителност на процеса до края на живота му.
✦ Пълната хомогенност и нивата на висока чистота водят до последователно покритие.
◆ Възможност за доставка на материали от всякакъв размер, от научноизследователска и развойна дейност до мащабно производство.
Планарна ванадийна (правоъгълна, кръгова) цел за разпръскване
Производствена гама
правоъгълник | Дължина (мм) | Ширина (мм) | Дебелина (мм) | Направен по поръчка |
10 - 2000 г. | 10 - 600 | 1,0 - 25 | ||
кръгъл | Диаметър (мм) | Дебелина (мм) | ||
10 - 400 | 1,0 - 25 |
спецификация
композиция | V |
чистота | 2N5 (99.5%), 3N (99.9%), 3.5N (99.95%), 4N (99.99%), |
плътност | 6,11 g / cm3 |
Размери на зърното | <80 микрона="" или="" при=""> |
Производствени процеси | Вакуумно топене, коване, валцуване, обработка |
форма | Плоча, диск, стъпка, надолу болтове, Threading, по поръчка |
Тип | Монолитна, многосегментна цел, обвързване |
повърхност | Ra 1,6 микрона или при поискване |
Други спецификации
✦ Ние се грижим за една и съща посока на зърното в многосегментираните конструктивни части.
✦ Равномерност, чиста повърхност, полирана, без пукнатини, масло, точка и т.н.
Ватадиални дъгови кадоди
Предлагаме ванадийни ротационни и равнинни дъгови катоди, както и ванадиални ротационни и планарни разпръскващи мишени
За нашите цели ватадий Sputtering Target и Arc Catodes
толерантност
Ace. На чертежи или искане.
Съдържание на примеси [ppm]
Ванадиева чистота [%] | елементи | 2N5 [99.5] | 3N5 [99.95] |
Металически примеси [μg / g] | Al | 350 | 50 |
Ca | 200 | 50 | |
Cr | 100 | 50 | |
Cu | 50 | 50 | |
Fe | 800 | 200 | |
Мо | 500 | 130 | |
NI | 300 | 50 | |
си | 800 | 150 | |
Sn | 100 | 30 | |
Ti | 250 | 150 | |
Неметални примеси [μg / g] | ° С | 150 | 50 |
О | 400 | 200 | |
Н | 30 | 20 | |
N | 200 | 50 | |
Гарантирана плътност [g / cm 3 ] | 6.11 | 6.11 | |
Размер на зърната [μm] | 80 | 80 | |
Термопроводимост [W / (mK)] | 30.7 | 30.7 | |
Коефициент на топлинно разширение [1 / K] | 8.4-6 | 8.4-6 | |
Аналитични методи:
1. Металните елементи се анализират като се използва GDMS (Прецизността и пристрастията, типични за измерванията на GDMS, се обсъждат съгласно ASTM F1593).
2. Газовите елементи се анализират с помощта на LECO GAS ANALYZER.
✦ C, S, определено от Combustion-IR
✦ N, H, определено от IGF-TC
◆ О, определено от IGF-NDIR
Приложение
✦ Покритие от големи стъклени повърхности
✦ Електротехническата промишленост
◆ Носете устойчиво покритие
♦ Декоративно покритие