Спецификациите за разпръскващи цели и материали от катоди

- Mar 31, 2017-

Спецификациите за разпръскващи цели и материали от катоди

 

Въртящи се цели за разпрашаване


Съдържание с ниско съдържание на примеси, висока чистота

Чистотата е един от най-важните показатели за производителност на разпръскващи цели и катодни материали, има огромно влияние върху хомогенността на тънкия филм. Сега изискването за чистота на разпръскващи цели и катодни материали е все по-високо. Например, с бързото развитие на микроелектрониката, размерът на силициевите пластини се развива от 6 ", 8" до 12 ", а широчината на проводниците от 0,5 um се намалява до 0,25 um, 0,18 um и 0,13 um, чистотата 99,995% Целевите материали могат да задоволят технологичните изисквания от 0,35 цт, но сега са необходими 0,18 и 0,13um линии за чистота на 99,999% или по-високи цели за разпрашаване и катодни материали.

 

Висока плътност

Предимствата на целевите разпръскващи вещества с висока плътност и катодните материали са:

- отлична електрическа проводимост

- изключителна топлопроводимост

- висока якост

При процеса на нанасяне на покритие с целеви разпрашителни вещества с висока плътност и катодни материали,

Разпръскващата мощност е по-ниска, скоростта на отлагане е по-бързо, качеството на тънкия филм е по-добро и не е лесно да се спука. Срокът на експлоатация на разпръскващите мишени и катодните материали ще бъде по-дълъг, можем да получим тънък филм с по-ниско електрическо съпротивление и по-висока пропускателна способност на светлината.

 

микроструктура-на-CP-титанов-надлъжна-direction.jpg

Микроструктура на титанови разпръскващи цели , степен 2


Фин размер на зърната и хомогенна микроструктура

По-фините от зърно размера, дебелината на тънък филм ще се разпределят по-хомогенни, разпрашване скорост ще по-бързо. И хомогенната от разпрашващите се цели и катодните материали е важната гаранция за стабилното качество на тънкия филм.

 

Планарни разпръскващи цели


Haohai метал развива широка гама от ниско съдържание на примеси, висока чистота, висока плътност, размер на фините зърна и хомогенни микроструктурни разпръскващи цели и катоди, с материали от титан , цирконий , хром , ниобий , тантал , молибден , хафний , алуминий , силиций , AlTi , AlCr , NiCr и SiAl и др., За да подобрите процеса на нанасяне на покритие и да получите плътни, по-трайни и по-добри функционални слоеве.

 

Моля, не се колебайте да се свържете с нас чрез sales@pvdtarget.com За повече информация и цена.