Planar Магнетрони в PVD покрития

- Jan 16, 2018-


Planar Магнетрони в PVD покрития


Planar магнетрона е, по същество, класически "диод" режим разпрашване катод с добавянето на един постоянен магнит масив зад катода. Този магнит масив е подредена така, че магнитното поле е нормално да на електрическото поле в затворен път и представлява граница "тунел", която улавя електрони близо до повърхността на целта. Този електрон капани подобрява ефективността на образуването на йони на газ и ограничава изхвърляне плазма, което позволява по-високи ток в по-ниско налягане на газ и постига по-висок процент задавя отлагане за PVD (физически Vapor отлагане) покрития.


Няколко различни магнетронно разпрашване катод/целеви фигури са били използвани, но най-често са кръгли и правоъгълни. Правоъгълни Магнетрони най-често се срещат в голям мащаб в линия магнетронно разпрашване системи където субстрати сканиране линейно миналото на целите за някаква форма на конвейера или превозвач. Кръгова Магнетрони са по-често срещани в по-малък мащаб Конфокални партида системи или една вафла станции в клъстер инструменти.


Въпреки че може да се направи по-сложни модели, повечето катоди - включително почти всички кръгли и правоъгълни такива - имат проста концентрични магнит модел с центъра е единия полюс и периметъра на обратното. За кръгови магнетрона това би било сравнително малък кръгъл магнит в центъра и пръстеновиден пръстен магнит на обратна полярност около външната с разликата между.


За правоъгълни магнетрона в центъра, един е обикновено един бар по дългата ос (но по-малко от пълната дължина) с правоъгълна "ограда" на обратна полярност целия път около него с разликата между. Разликата е там, където ще бъде плазмата, кръгова пръстен в кръговата магнетрона или продълговати "пистата" в правоъгълна форма. Имайте предвид, че, особено в по-големи cathodes, магнити могат да бъдат няколко отделни сегменти, отколкото една солидна част.


Като материал за покритие на целевата катод се използва в PVD и материал пращя разстояние, ще успеете да видите тези модели на характерни ерозия на мишената. В действителност, в случай на магнит проблеми като липсващи, съгласувани, или с главата надолу ерозия на пътя ще бъде необичайно и това може да бъде добър диагностичен показател за такива проблеми в рамките на вашата магнетронно разпрашване катод.


Полюс ориентацията на отделните магнитите трябва да бъде такава, че един полюс се образува в центъра, и противоположния полюс в периметъра. Има няколко начина да направите това. Най-често е да инсталирате магнити север/юг поляците перпендикулярно на равнината на обекта, един полюс към целта и на другия край - "свободен" края / срещу полюс - магнитно мост към други магнити от полюс плоча от магнитни (обикновено железен) материал.


Пълна магнитна верига е отворена Северния полюс на един магнит (или верига от отделните магнити, ако не едно парче) с нейната противоположност, южния полюс съчетание от магнитен материал до Северния полюс на друг, чиято южния полюс тогава е отворен. Тези две магнитно противоположни отворени краища лицето към целта и получения магнитното поле свод над повърхността на целта да формират електрон, капани, плазма, концентриране на тунела.


Обърнете внимание, че PVD магнетрона работи с или магнитни подравняване - център може да бъде на север и периметъра може да бъде на юг, или обратното. Обаче в повечето равнинни магнетронно разпрашване системи, в доста непосредствена близост един до друг, има множество катоди и не искате бездомни север / юг полета формира между целите.


Тези участъка север/юг магнетрона магнитни полета трябва да бъде само на цели лица, формиране на желаните магнитни тунели там. Поради тази причина, съвсем желателно е да се уверите, всички катоди в една система са подравнени по същия начин, или всички север на техните периметъра, или всички юг на техните периметъра. И за съоръжения с множество задавя системи, също така е желателно да ги правят едни и същи, така че катоди спокойно могат да бъдат обменяни между системите, без да се притеснявате за магнит подравняване.


Съществуват допълнителни съображения и опции по отношение на магнитите. Повечето целеви материали са не магнитни и по този начин не се намесва с необходимата сила на магнитно поле. Но ако вие сте разпрашване магнитни материали като желязо или никел, ще трябва по-висока якост магнити, или тънки цели или и двете за да се избегне повърхността магнитното поле ефективно shorted от магнитни целта материал.


Освен това магнит подробности, като магнитна сила и пропастта размери, могат да бъдат предназначени да подобрите целевите материални използване, или да се подобри еднородността по основната ос на правоъгълна цел. Възможно е дори да използвате Електромагнити вместо постоянни магнити, които могат да си позволят известна степен на програмируеми контрол на магнитното поле, но разбира се, увеличи сложността и разходите.


Задавям катоди обикновено са водно охлаждане, обикновено включващи мед бек плочка, която е директно водно охлаждане с цел или залепени или прикрепени към него. И в много случаи магнити са разположени във вътрешността на водна риза, в контакт с водата, която вероятно също контакти на полюс плоча в такива катоди.


В такива случаи следователно е необходимо да предприемат подходящи стъпки за избягване корозията на магнити или полюс плоча. Полюс плочи може да се произвеждат от магнитни сплави от неръждаема стомана, например, да се избегне корозия, и магнити, които, в зависимост от техния състав, иначе биха могли да бъдат засегнати от излагане на вода може да бъде капсулирана в пластмаса или епоксидна смола.


Planar Магнетрони, както и техните близки братовчеди зъбчета на добавям целеви Магнетрони позволяват на потребителя да се постигне по-високи задавя наслояване отколкото обикновен диод конфигурация катоди. Те също са в състояние да поддържат плазма в по-ниски газ натиск, който може да отвори този параметър за корекция на допълнителен процес за постигане на конкретен филм свойства както може да се желае.


Голямо разнообразие от такива катоди и цели са търговската мрежа, включително различни опции за магнит здравина и оформление за засилване на конкретни аспекти на процеса, когато е необходимо. Те са станали един от стълбовете на магнетрона PVD пращя обработка.


С модерен, добре оборудван завод и безценни знания за тънък филм PVD покритие процеси, материали и приложения,Haohai метълразвива PVD покритие решения, които предлагаме на нашите клиенти истински конкурентни предимства, ние сме надежден партньор в производството на високо качестворазпрашване целии дъгата катоди.


Haohai метал (Haohai Титан) предоставя широка гама от облицовъчни материали в различни конфигурация, като rotatable нанасяне на покритие прахово цели, планарни нанасяне на покритие прахово цели, катодна дъга, изпаряване материали и тигели в материали оттItaniumцирконийхромХафнийниобийТанталмолибденсилицийТитан-алуминийникел-хромсилиций-алуминийandхром-алуминий и др.