English
Никел ванадий (Ni / V) Sputtering целеви, монолитна, планарна, катодна ARC, PVD покритие, тънък филм отлагане, Magnetron NiV7 разпрашване цели Производител и доставчик
НИКЕЛ ВАНАДИУМ (НИ / В) ЦЕЛ ЗА ВЪЗСТАНОВЯВАНЕ
Никел плюс 7% тегл. Ванадий (NiV7) е един от най-важните тънкослойни аерозолни сплави в областта на полупроводниците. Той притежава желаните химически, електрически и оптични свойства на чистата Ni, с допълнителното предимство да не е феромагнитна. Благодарение на не-феромагнитното свойство, той е лесен за употреба в високотехнологичното оборудване за разпрашаване на магнетрони. NiV7 покритията включват резистивни филми, дифузионни бариери и предварително намокрящи слоеве за напреднали опаковки, напр. Flip-Chip технология и др.
Haohai Metal, като един от най-големите производители на покривни материали за нанасяне на покритие за нанасяне на наночасти (PVD) над 15 години, с добре оборудвани модемни растения и богат опит, нашите разпръскващи цели и материали за изпаряване спечелиха висока репутация в световен мащаб.
Целите на Haohai Metal за разпръскване на NiV включват цели правоъгълни разпрашващи цели, циркулярни цели за разпрашване и катодни цели.
Никел ванадий планар (правоъгълна, кръгова) цел за разпръскване
Производствена гама
правоъгълник | Дължина (мм) | Ширина (мм) | Дебелина (мм) | Направен по поръчка |
10 - 2000 г. | 10 - 600 | 1,0 - 25 | ||
кръгъл | Диаметър (мм) | Дебелина (мм) | ||
10 - 400 | 1,0 - 25 |
спецификация
Състав [wt%] | NiV, 93/7 |
чистота | 3N (99.9%), 3.5N (99.95%) |
плътност | 8,90 g / cm3 |
Размери на зърното | <80 микрона="" или="" при=""> |
Производствени процеси | Вакуумно топене, леене, обработка |
форма | Плоча, диск, стъпка, надолу болтове, Threading, по поръчка |
Тип | Монолитна, многосегментна цел, обвързване |
повърхност | Ra 1,6 микрона или при поискване |
Други спецификации
✦ Ние се грижим за една и съща посока на зърното в многосегментираните конструктивни части.
✦ Равномерност, чиста повърхност, полирана, без пукнатини, масло, точка и т.н.
✦ Висока пластичност, висока топлопроводимост, хомогенна микроструктура и висока чистота и др.
Нидолови ванадийни дъгообразни катоди
Ние доставяме никел ванадий равнинни дъгови катоди, както и никел ванадий Планарни разпръскващи цели
За нашите никелови ванадиеви разпръскващи цели и дъгообразни катоди
толерантност
◆ Съдържанието на ванади се поддържа при +0,5 / -0,3 тегл.%.
◦ Вандайът е 100% атомно решен в никеловата матрица, което гарантира не феромагнитни свойства и отлична производителност на разпрашване.
✦ Други могат да бъдат приети. На чертежи или искане.
Съдържание на примеси [ppm]
Чистота на никел ванадий [%] | елементи | 93/7 тегл.%, 3N5 [99.95] |
Металически примеси [μg / g] | Ag | 5 |
Al | 100 | |
| Ca | 1 | |
| Co | 75 | |
| Cr | 45 | |
| Cu | 15 | |
| Fe | 75 | |
| K | 1 | |
| Ли | 1 | |
| Mg | 50 | |
| Mn | 5 | |
Мо | 75 | |
Na | 1 | |
си | 200 | |
Ti | 50 | |
Неметални примеси [μg / g] | ° С | 20 |
N | 50 | |
| О | 200 | |
С | 5 | |
Гарантирана плътност [g / cm 3 ] | 8.90 | |
Размер на зърната [μm] | 80 | |
Термопроводимост [W / (mK)] | - | |
Коефициент на топлинно разширение [1 / K] | - | |
Аналитични методи:
1. Металните елементи се анализират, като се използва GDMS (Прецизността и пристрастията, типични за измерванията на GDMS, се обсъждат съгласно ASTM F1593).
2. Газовите елементи се анализират с помощта на LECO GAS ANALYZER.
✦ C, S, определено от Combustion-IR
✦ N, H, определено от IGF-TC
◆ О, определено от IGF-NDIR
✦ рентгеновата флуоресцентна спектрометрия (XRF)
◆ Маталографско разследване
Приложение
✦ Слънчева и фотоволтаична индустрия
✦ Полупроводници
